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精细化半导体制造,提高加工效率,提高产品质量

  • 半导体
  • 吸光度
计算机电子工程师

亚博最新网站多少Ocean Insight与半导体解决方案供应商GlobalFoundries合作,以改善流程,支持5G和物联网等新兴电子技术亚博提现能秒速到账

挑战

半导体器件制造是一个复杂的过程,要求在制造的每一个方面都要精确。保持质量和最小化晶圆损耗需要无污染的气体和精确的气体混合物,等离子清洗腔室的端点检测,以及精确定时的沉积和蚀刻端点检测。

传统的监测半导体腔室清洗、沉积和蚀刻过程的方法导致了较低的晶圆产率和腔室退化。现在,制造商可以利用光学发射光谱(OES)和机器学习对过程进行精确、高速的监控,从而在电子和纳米技术的新应用中获得更高质量的半导体材料。

硅片与微电路

洞察力

在半导体加工中,试错法曾经规定了腔室清洁、沉积速率和刻蚀时间,这种不精确的方法导致了较低的晶圆产量、腔室退化和资源浪费。

即使有了技术进步,包括使用单色仪来监测光学端点过程,局限性仍然存在。例如,单色仪仅限于单波长分析,会受到光干涉的影响,而且不容易根据不同的生产配方更换。

使用Ocean Insight公司的高速、精密光谱仪的光学端点传感测量的引入,帮助终结了旧技术的局限性。亚博最新网站多少有了OES,用户可以快速准确地同时监测所有等离子体波长,消除了猜测。将我们的机器学习算法应用于测量数据将为过程控制增加另一个层次的洞察力。

光谱传感器不仅可以用于半导体沉积和蚀刻工艺,还可以用于腔室灭菌。这些工具有助于优化晶圆的产量和质量。

Benedict Delahunty,高级蚀刻设备工程师——GlobalFoundries

解决方案

GlobalFoundries (GF)为全球领先的半导体创新者提供设计、开发和制造服务。亚博最新网站多少Ocean Insight与GF密切合作,解决与之前使用的一种重要的反应离子蚀刻工艺相关的问题。这种“定时蚀刻”工艺用于确定晶片暴露在腐蚀性生产气体中的时间,其管理依赖于单波长仪器、所涉及的化学反应的变速知识和简单的试错。这往往导致产品蚀刻过度和欠蚀刻,浪费昂贵的资源。

在我们的帮助下,GF现在正在系统中安装Ocean Insight光谱仪,并重写它们的亚博最新网站多少算法,以监控多个等离子体发射光谱,以精确地停止蚀刻。潜在的影响是巨大的。例如,一个工程师可能要负责100多个腔室,每个腔室的蚀刻需要5-25分钟。即使是在过程中的微小改进也可以使生产流线化,并显著提高产品质量。

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